스퍼터링 장치(Sputter)

(일본 현장)

*Sputtering machine

*Brand:Shibaura

*Model: BM-700-S

*년식: 2019

*워크 사이즈：최대φ275㎜×H50mm
홀더수：4POSITION
스퍼터원:Φ150GUN 1개
스퍼터 전원:DC10kv
장치 본체: AC200V 3상 3선 50/60Hz